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超精密平面磨削技術要點一

超精密平面磨削技術要點一

一、 超精密平面磨削的技術指標;

精密加工和超精密加工代表了加工精度發展的不同階段,通常,按加工精度劃分,可將機械加工分爲一般加工、精密加工、超精密加工個階段。精密加工是指加工精度爲1~0.1μm、表面粗糙度爲Ra0.1~0.025μm的加工技術;超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技術,因此,超精密加工又稱之爲亞微米級加工。

根椐目前精密平面磨削的現狀,超精密平面磨削的技術指標見下表

    超高精度級平面磨床主要技术参数与目前三个精度级的对比      单位mm

  技术指标       精度级别

普通級

精密級

高精度級

超高精度級

工作台面平面度G1

1000:0.01

1000:0.008

1000:0.005

1000:0.001-0.002

試磨件的加工精度P1P2

300:0.005

200:0.002

200:0.0015

200:0.0001-0.0005

試磨件的粗糙度Ra

0.63μm

0.16μm

0.08μm

0.02μm

砂輪最小進給靈敏度

0.005-0.01

0.001-0.002

0.0005-0.001

0.0001

二、 超精密平面磨削的技術要求

根據超精密平面磨削的技術指標,超精密平面磨削機床的技術要求如下:機床的砂輪進給能實現微量進給,機床具有足夠的靜、動態剛性,機床的熱變形及振動的控制有更高要求。歸納主要有以下幾點內容:

(1)機床布局型式;(2)新材料運用;(3)主軸精密回轉技術;(4)微量進給技術;(5)運動導軌型式;(6)高精度溫度控制技術。