超精密平面磨削技術要點一
一、 超精密平面磨削的技術指標；
精密加工和超精密加工代表了加工精度發展的不同階段，通常，按加工精度劃分，可將機械加工分爲一般加工、精密加工、超精密加工個階段。精密加工是指加工精度爲1～0.1μm、表面粗糙度爲Ra0.1～0.025μm的加工技術；超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技術，因此，超精密加工又稱之爲亞微米級加工。
根椐目前精密平面磨削的現狀，超精密平面磨削的技術指標見下表
超高精度級平面磨床主要技术参数与目前三个精度级的对比 单位mm
 技术指标 精度级别
| 普通級 | 精密級 | 高精度級 | 超高精度級 |
工作台面平面度G1 | 1000:0.01 | 1000:0.008 | 1000:0.005 | 1000:0.001-0.002 |
試磨件的加工精度P1、P2 | 300:0.005 | 200:0.002 | 200:0.0015 | 200:0.0001-0.0005 |
試磨件的粗糙度Ra | 0.63μm | 0.16μm | 0.08μm | ≤0.02μm |
砂輪最小進給靈敏度 | 0.005-0.01 | 0.001-0.002 | 0.0005-0.001 | ≤0.0001 |
二、 超精密平面磨削的技術要求
根據超精密平面磨削的技術指標，超精密平面磨削機床的技術要求如下：機床的砂輪進給能實現微量進給，機床具有足夠的靜、動態剛性，機床的熱變形及振動的控制有更高要求。歸納主要有以下幾點內容：
（1）機床布局型式；（2）新材料運用；（3）主軸精密回轉技術；（4）微量進給技術；（5）運動導軌型式；（6）高精度溫度控制技術。
